표면 검사기 종류 구분 용도 SPM(probe) STM 표면 형상 Topology AFM AFM 표면 형상 Topology LFM 표면 마찰력 FMM 표면 경도,점도 PDM 표면 탄성,점성 Metrology AFM 정량적 치수 NSOM 광학적 성질 SPM기타 MFM 자기분포 EFM 표면전위,표면전하,유전상수 SCM 정전용량,캐리어밀도,도핑프로파일 SThM 온도분포 EC-SPM 전기화학적성질 X-.. .....................지식/표면 검사 2010.02.11
박막두께 측정기 비교 논문( 접촉식,비접촉식,Stylus, AFM,Optical) http://www.sciencedirect.com/science?_ob=ArticleURL&_udi=B6V5B-3YB9SK0-8&_user=10&_coverDate=11%2F30%2F1995&_rdoc=1&_fmt=high&_orig=search&_sort=d&_docanchor=&view=c&_searchStrId=1201219506&_rerunOrigin=google&_acct=C000050221&_version=1&_urlVersion=0&_userid=10&md5=775e61d434e7a73d60d3220c03b4b2ee .....................지식/표면 검사 2010.02.10
두께 측정기 종류(분류) 재료에 의한 분류 코팅(도막,도금,박막) 도막:비자성,비전도 도금 박막 종류 Fabrication Oxides, Nitrides, Photo-resist, Poly-Si... LCD a-Si, n+-a-Si, Gate-SiNx, Oxides, PI, ITO, Cell Gap, Photoresist & Polyimide film... Optical coating Hard coating, Anti-reflection coating, Filters, Packing & Functional film... Recordable materials Photosensitive drum, Video head, Photo.. .....................지식/표면 검사 2010.01.06
표면 분석 방법들 SPM STM AFM LFM : 표면 마찰력 측정 FMM: 표면 경도 측정 PDM: 표면 탄성,점성 측정 MFM: 표면 자기력 측정 EFM: 표면 전기적 특성 측정 SCM: 표면 캐패시턴스 측정 EC-SPM: 표면 전기 화학적 특성 측정 http://en.wikipedia.org/wiki/List_of_surface_analysis_methods .....................지식/표면 검사 2009.12.11
표면 형상 측정기 (Profilometer) 분류 http://en.wikipedia.org/wiki/Profilometer 출처: 위키피디아 광학식 Optical methods[1][2]Vertical scanning interferometry / White light interferometryPhase shifting interferometryDifferential interference contrast microscopy (Nomarski microscopy)Focus detection methodsIntensity detectionFocus variationDifferential detectionCritical angle methodAstigmatic MethodFoucault.. .....................지식/표면 검사 2009.12.10
코팅, 도막 두께 측정 원리(방법) Eddy-current Magnetic induction Microresistance Beta backscatter X-ray fluorescence Recent Developments 분광법 전해식 도금두께측정기 : 페러데이의 법칙을 응용한 도금측정기이므로 중량법의 측정결과와 거의 일치합니다. 하지만 현미경과의 비교에서는 도금방법에 따라 밀도가 다르기 때문에 큰 차이가 발생.. .....................지식/표면 검사 2009.12.09
SiO2 산화막 측정 방법 Metal Oxides (산화물 박막 종류): PtOx, RuO2, SiO2, TiO2, Ta2O5 (1) 두께측정:  UV-visible photospectrometer, ellipsometer, 색도표 UV-visible photospectrometer ellipsomet 두께 측정 범위:1nm - 1mm (비-금속들)0.5nm - 50nm (금속들)0.1nm - 0.01mm (비-금속들)0.1nm - 50nm (금속들)굴절률 측정에 요구되는 두께:>20nm (비금속)5nm .. .....................지식/표면 검사 2009.11.19
표면거칠기 측정기 종류 측정방법 측정기 도시 사람의 눈,손가락 감촉 거칠기 견본 비교용 표준법 경사 절단법 절단 용구 현미경 촉침법 촉침식 측정기 광절단법 광절단 현미경 광학적 반사법 반사식 거칠기 측정기 광파 간섭법 현미 간섭계 출처: 팔마텍 사이트 Stylus Optical AFM .....................지식/표면 거칠기 2009.06.23
표면공학 사용 장비 목록 Magnetic Auto Clave 고온/고압을 유지할 수 있는 장비로써, 고온/고압하의 재료부식거동 연구 등에 적용가능한 장비 Gloss meter 금속표면의 외관평가기준인 표면에서의 광택을 정량적으로 분석할 수 있는 장비 Suface Roughness measurement System 금속표면의 거칠기를 측정하는 장비로써 표면의 거칠기를 정량적으로.. .....................지식/표면 검사 2009.01.09