|
구분 |
용도 | ||
|
SPM(probe) |
STM |
표면 형상 Topology | |
|
AFM |
AFM |
표면 형상 Topology | |
|
LFM |
표면 마찰력 | ||
|
FMM |
표면 경도,점도 | ||
|
PDM |
표면 탄성,점성 | ||
|
Metrology AFM |
정량적 치수 | ||
|
NSOM |
광학적 성질 | ||
|
SPM기타 |
MFM |
자기분포 | |
|
EFM |
표면전위,표면전하,유전상수 | ||
|
SCM |
정전용량,캐리어밀도,도핑프로파일 | ||
|
SThM |
온도분포 | ||
|
EC-SPM |
전기화학적성질 | ||
|
X-선 |
XRD |
|
|
|
XPS |
|
Surface Composition | |
|
X-선 기타 |
연질 X-선 현미경 |
현미경 영상 | |
|
X-선 간섭계 |
초정밀 변위 | ||
|
XRR |
박막두께,밀도,거칠기 | ||
|
전자/이온빔 |
SEM |
|
Surface morphology, Composition |
|
TEM |
|
High resolution structure | |
|
FIB |
|
Surface morphology,Deposition,Machining | |
|
AES |
|
Surface (layer) composition | |
|
전자/이온빔 기타 |
LEED |
Surface structure | |
|
SIMS |
Composition versus depth | ||
|
EELS |
Local small area composition | ||
|
EDAX |
Local small area chemical composition | ||
|
RBS |
Composition,Thickness, Structure | ||
|
RHEED |
Growth behavior | ||
|
적외선 자외선 가시광선 |
PL |
Electron states(exiton,impurity level) | |
|
Ellipsometer |
박막두께,굴절률 | ||
|
FTIR |
화학결합,분자구조 | ||
|
RAMAN |
Composition,Structure | ||
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