박막 분석 장치 *스크래치 테스터(밀착력 시험기): 다이아몬드 팁을 사용해서 연속적인 하중을 부과하여 코팅막의 파괴와 탈락이 일어나는 위치로부터 접합력,부착력을 정량적으로 측정하는 기기 스크래치 테스트를 하면 다양한 종류의 크랙들이 발생하는 데, 크랙의 형상에 따라 크랙이 발생한 원인에.. .....................지식/표면 검사 2014.01.06
박막 특성 평가 기기 종류 나노 인덴터/인덴테이션: 탄성계수, 경도, 파괴 인성, 표면윤곽 등을 측정 접합 특성 : PULL OFF TEST, 스크레치 테스터,인덴테이션 크레킹 테스트 셈(SEM) TEM : 재료의 결정 구조 분석 XRD : 재료의 결정 구조 분석 Auger Electron Spectroscopy (AES) : 재료 표면을 구성 하고 있는 원소의 종류 및 양을 분석.. .....................지식/표면 검사 2013.12.13
셈(SEM)으로 얻을 수 있는 정보 Topography (물체의 표면의 형상을 관찰) 물체의 미세구조와 hardness[경도], reflectivity[반사율] 등의 물성과 연관성을 규명한다.Morphology (물체를 구성하는 입자들의 형상과 크기 관찰)Ductility[연성], strength[힘], reactivity[반응도] 등의 물성과 연관성을 규명할 수 있다. Composition (물체를 구성하는 .. .....................지식/표면 검사 2013.12.13
셈(SEM) 종류 미니(Mini) 셈 : 100,000배 확대 가격: 5천만원 이상 노멀(Normal) 셈: 300,000배 확대 FE-SEM: 300,000배 이상 확대 .....................지식/표면 검사 2013.12.13
박막 두께 측정 원리 비접촉식(광학식) : 장점: 측정 속도가 빠르고 측정물을 손상 및 오염 시키지 않는다. 굵은 것: spectrophotometer(반사광) 얇은 것: ellipsometer(편광) 용도: 적층 박막 구조의 박막 두께 측정 측정 가능한 박막의 종류 : 실리콘 산화막, 질화막, 폴리실리콘, 포토레지스트 3층 이하의 적층 박막에서 .. .....................지식/표면 검사 2013.11.06
표면 구조 분석기 종류 SEM분석 : 표면 형상 분석 AFM분석 : 표면 형상 분석 XPS 표면원소분석 EDX 표면원소분석 .....................지식/표면 검사 2013.10.31
표면 분석기 종류 *고분해능 X-선 회절분석기 - 고가의 디텍터인 Pixel을 장착하여 분석시간이 일반디텍터에 비해서 훨씬 짧고(수배이상),보다 미세한 분석이 가능합니다.- 히팅챔버를 장착하여 정한 시간만큼 단계별로 온도를 변화시키면서 결정의 구조변화를 분석합니다.- OEC의 장착과 XRR(X-Ray Reflectivity)을.. .....................지식/표면 검사 2013.10.31
박막 검사 종류 주사전자현미경(SEM/EDS) 시편 전처리기 (Pt, carbon ion sputter) 나노인덴터 (Nano indenter) 적외선 분광 분석기(FT-IR) 글로우 방전 분광기(GDS) 홀효과 측정기(Hall effect measurement) 박막두께 측정기 (α-step surface profiler) 부착력 및 박리 시험기 (Peel tester) 밀착력 측정기(Scratch tester) 면저항 측정기 (4 point.. .....................지식/표면 검사 2013.10.31
도막 상태 검사 종류 은폐력시험 (Hiding Power Test) 광택측정(Glossmeter) 45˚ - 0˚ 산반사율측정 (KSM-5498) 부착성 시험 (Adhesion Test) 충격시험 (Impact Test) 굴곡시험(Flexibility Test) 경도시험 ( Hardness Test ) 내팽윤성시험 방식성 시험 내마모성 시험 (Abrasion Resistance Test) 내후성시험 (Weather Resistance) .....................지식/표면 검사 2013.10.28