나노 인덴터/인덴테이션: 탄성계수, 경도, 파괴 인성, 표면윤곽 등을 측정
접합 특성 : PULL OFF TEST, 스크레치 테스터,인덴테이션 크레킹 테스트
셈(SEM)
TEM : 재료의 결정 구조 분석
XRD : 재료의 결정 구조 분석
Auger Electron Spectroscopy (AES) :
재료 표면을 구성 하고 있는 원소의 종류 및 양을 분석해 내는 표면 분석 장비
Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS)
RAMAN SPECTROSCOPY
FT-IR : 정성 분석과 정량 분석
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