엘렙소 메터 로 박막 두께 측정 재료
| 반도체Wafer | Gate산화박막, 질화막 SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN Resist의 광학정수(파장분산) |
| 화합물반도체 | AlxGa(1-x)As 다층막，α-Si |
| FPD | 배향막 |
| 광학박막 | DLC(Diamond Like Carbon)，초전도용 박막, 자기Head박막 |
| Lithography분야 | g선(436nm)，h선(405nm)，i선(365nm)，KrF(248nm)등의 각 파장에 있어서의 n，k평가 |
출처: 인터넷
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