출처: http://en.wikipedia.org/wiki/Ellipsometry
| reflectometer | 엘립소메터 | |
| 두께측정범위 | 1nm - 1mm (비-금속들) 0.5nm - 50nm (금속들) |
0.1nm - 0.01mm (비-금속들) 0.1nm - 50nm (금속들) |
| 굴절률 두께 측정 | >20nm (비금속) 5nm - 50nm (금속들) |
>5nm (비금속) >0.5nm (금속) |
| 수직으로 반사된 빛의 양을 측정 | 낮은 각도로 박막에서 반사된 빛의 양을 측정 | |
| 반사를 이용 | 편광을 이용 | |
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