제조사: 일본 kosakalab
모델:ET5000
용도: 표면조도거칠기 박막두께측정기 미세형상측정기 표면단차 측정기
접촉식 STM AFM Surface Profiler 알파-스텝 Alpha-Step
응용분야: WAFER 표면 위의 단 차가 있는 박막의 두께(수 Å 이상) 및 Step profile을 측정
주요사양
| Max. sample size | 880 × 680 mm |
|---|---|
|
Repeatability |
1 σ 1 nm |
|
Measuring range |
Z: 100 μm X: 100 mm |
|
Resolution |
Z: 0.1 nm X: 0.1 μm |
|
Measuring force |
0.5 μN to 500 μN |
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