| ET200 | ET4000A | ET4000L | ET5000 | |
| stage size | 160mm | 220x220mm | 540x400mm | 900x700mm |
| sample size | 210x210mm | 300x400mm | 880x680mm | |
| 측정방향 | 2차원 | 2,3차원 | 2,3차원 | 2,3차원 |
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