- Topography (물체의 표면의 형상을 관찰)
물체의 미세구조와 hardness[경도], reflectivity[반사율] 등의 물성과 연관성을 규명한다.
- Morphology (물체를 구성하는 입자들의 형상과 크기 관찰)Ductility[연성], strength[힘], reactivity[반응도] 등의 물성과 연관성을 규명할 수 있다.
- Composition (물체를 구성하는 원소와 화합물의 종류 및 상대적인 양을 분석)
분광학에 의한 전자와 시편이 상호 작용 하여 생기는 X-선 이나 전자를 분석 하여 시편 내에 존재하는 원자의 종류와 양을 알아내는 방법으로 에너지 분산 X-선 분광학과 전자 에너지 손실 분광이 있다.
- Crystallography (재료 내 원자들의 배열상태 분석)
재료의 여러 성질들은 미세구조, 즉 원자의 종류와 위치에 큰 영향을 받는다. 전자와 시편 내의 원자 간의 간섭을 이용하여 원자의 위치 및 배열에 대한 정보를 얻는 것이다.
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