박막 특성 평가 기기 종류

나노 인덴터/인덴테이션: 탄성계수, 경도, 파괴 인성, 표면윤곽 등을 측정

접합 특성 : PULL OFF TEST, 스크레치 테스터,인덴테이션 크레킹 테스트

셈(SEM)

TEM : 재료의 결정 구조 분석

XRD : 재료의 결정 구조 분석

Auger Electron Spectroscopy (AES) : 

재료 표면을 구성 하고 있는 원소의 종류 및 양을 분석해 내는 표면 분석 장비

Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS)

RAMAN SPECTROSCOPY

FT-IR : 정성 분석과 정량 분석