박막 검사 종류

주사전자현미경(SEM/EDS)

시편 전처리기 (Pt, carbon ion sputter)

나노인덴터 (Nano indenter)

적외선 분광 분석기(FT-IR)

글로우 방전 분광기(GDS)

홀효과 측정기(Hall effect measurement)

박막두께 측정기 (α-step surface profiler)

부착력 및 박리 시험기 (Peel tester)

밀착력 측정기(Scratch tester)

면저항 측정기 (4 point probe)

박막 잔류응력 측정기 (Residual stress tester)

접촉각 측정기(Wetting angle measurement)