엘렙소메터 박막 두께 측정 대상

엘렙소 메터 로 박막 두께 측정 재료

반도체Wafer	Gate산화박막, 질화막 SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN Resist의 광학정수(파장분산)
화합물반도체	AlxGa(1-x)As 다층막，α-Si
FPD	배향막 PDP용 ITO，MgO등
광학박막	DLC(Diamond Like Carbon)，초전도용 박막, 자기Head박막 TiO2，SiO2，다층막，반사방지막，반사막
Lithography분야	g선(436nm)，h선(405nm)，i선(365nm)，KrF(248nm)등의 각 파장에 있어서의 n，k평가

출처: 인터넷