표면박막 단차두께 거칠기 측정기 alphastep 알파스텝 surface profiler

 

제조사: 일본 kosakalab

모델:ET5000

용도: 표면조도거칠기 박막두께측정기 미세형상측정기 표면단차 측정기
          접촉식 STM AFM Surface Profiler 알파-스텝  Alpha-Step

 

응용분야: WAFER 표면 위의 단 차가 있는 박막의 두께(수 Å 이상) 및 Step profile을 측정

주요사양

Max. sample size	880 × 680 mm
Repeatability	1 σ  1 nm
Measuring range	Z: 100 μm  X: 100 mm
Resolution	Z: 0.1 nm  X: 0.1 μm
Measuring force	0.5 μN to 500 μN