접촉식 박막 두께 측정기,알파스텝 stylus surface profiler 팝니다.

접촉식 박막 두께 측정기,알파스텝 stylus surface profile 주요 용도

반도체 공정 및 일반 전자부품산업에서 Sample의 표면 거칠기(Roughness) 혹은 2차원 표면 단차(Setp Height),진직도,평탄도를 측정하는 대표적인 설비

1Å 분해능으로 1Å Step의 미세 단차 반복 측정이 가능하고 분석 Software를 사용하여 Ra, Wa, Average Step Height 등의 Data와 Sample의 Surface Video Image를 저장하여 사용할 수 있다.

 

 

접촉식 박막 두께 측정기,알파스텝 stylus surface profile주요 응용 분야

 

Semiconductor	Step Height, Etched Depth, Film Stress
Optics	Lens curvature and optic coating thickness
Hybrid Circuits	Thick films and substrate roughness
Industrial	High precision chemical etching, polishing

본체: W494 x D440 x H630mm 질량 대략 120kg

앰프: W440 x D400 x H160mm 질량 대략 9kg

접촉식 박막 두께 측정기,알파스텝 stylus surface profile

n  검출기(Detector)

센서	LVDT
측정범위	600㎛ (0.6mm)
분해능	0.1nm(1Å)
측정력(Stylus)	1mgf ~ 50mgf (10μN~500μN)
스타일러스 팁 반경	2㎛, diamond,60deg
Step height 재현성	1nm이내에서 1 sigma

 

n  샘플 스테이지 (지그)

샘플 스테이지 크기	Ø160mm
샘플링 크기	64,000 point
경사조절범위	± 2 ° (X,Y수동)
최대적재질량	2kg

 

n X-축 스캔 스테이지     

이동방식	모터 테이블 트래버스
측정범위(Scan length)	최대. 100mm
진직도	0.2㎛/100mm
스캔 속도	0.005 ~ 2mm/sec

 

n Y-축 스테이지

이동방식	수동
이동범위	25mm

 

n Z 축

이동범위 최대 적재 두께	50mm 48mm
이동속도	2mm/s at positioning
자동 멈춤 기능
칼럼 재료	Granite

n 모니터링 시스템

관찰부	1/3” color CCD camera 약 220배 시야 1.2 x 0.9 mm
관찰방향	사시우측
이동방법	수동

 접촉식 박막 두께 측정기,알파스텝 stylus surface profile

n 해석 시스템(프로그램)

측정 배율	세로 50 ~ 2,000,000배  가로 1 ~ 10,000배
해석 아이템	단차(Step Height) 선폭 측정 표면 거칠기 파라메터 미세형상해석(옵션)
기능	2D 단차(step height) 해석, 단위선택(㎛,Å,in)

접촉식 박막 두께 측정기,알파스텝 stylus surface profile

접촉식 박막 두께 측정기,알파스텝 stylus surface profile

측정 항목	단차(깊이),피치(폭),표면 조도 등
측정범위	Z축: 600 μm  X축: 100 mm
분해능	Z축: 0.1nm
측정물 크기	φ160 × t 48 mm