EC1550
| Mechanism / system | Porous static pressure air bearing system / table rotation type |
|---|---|
| 회전정도 | (0.04 + 0.0006H) μm H: height from table surface (mm) |
| 최대측정지름 | φ368 mm both inner and outer diameters |
| 최대적재무게 | 20 kg |
| Z축 이동범위 | 250 mm (at the use of b-type stylus arm) |
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