제조사: 일본 코사카랩
모델:ET4000
용도: 3D 표면조도거칠기단차형상 박막두께측정기 미세형상측정기 표면단차 측정기
촉침식 stylus Surface Profiler 알파-스텝 Alpha-Step
응용분야:WAFER 표면 위의 단 차가 있는 박막의 두께(수 Å 이상) 및 Step profile을 측정
3차원 박막 형상 분석
잉크 Dry Formation 분석
Substrate 표면 현상 분석
Patterned Substrate 표면 현상 분석
기타 반도체/디스플레이 표면 분석
주요특징:
ET4000A: Multifunctional and automatic
ET4000L: Fully automatic, compatible with large precision glass or wafer size sample
ET4000M: Reasonable, high performance and general-use
주요사양
|
Max. sample size |
210 × 210 mm to 300 × 400 mm |
|---|---|
|
Repeatability |
1 σ within 0.5 nm |
|
측정범위 |
Z: 100 μm X: 100 mm (Y stroke: 150 to 400 mm) |
|
Resolution |
Z: 0.1 nm X: 0.01 μm |
|
Measuring force |
0.5 μN to 500 μN |
'...................판매목록 > 거칠기 측정' 카테고리의 다른 글
| 3차원표면조도거칠기측정기 팝니다 (0) | 2010.04.30 |
|---|---|
| 웨이퍼 표면 조도 거칠기측정기 팝니다 (0) | 2010.04.30 |
| 표면조도거칠기측정기 스타일러스 ARMS A series (0) | 2009.10.23 |
| 표면조도거칠기측정기Surftest SE3500 (0) | 2009.07.06 |
| 표면조도거칠기측정기 SE500 카탈로그 (0) | 2009.06.25 |